乐文小说网

手机浏览器扫描二维码访问

350 第330章 320 光刻机进入最后测试环（第3页）

虽然光刻机的舱体是密封真空的，但是舱体里面安装有摄像头，可以通过摄像头观看舱体内的情况，激光头按照预设好的程序将X射线打在晶圆上。

随着机器运转现在的工作人员精神变得紧绷起来，只是他们现在再着急也没有用，因为X射线光刻机处理的速度非常缓慢。

因为这种X射线光刻机处理一片8寸晶圆需要5分钟的时间，也就是说一台X射线光刻机一个小时最多处理12片晶圆。

相对比AMSL、佳能、尼康的DVU光刻机那是一个天差地别，这些厂家所研发的DUV光刻机每小时可以处理100片晶圆，效率是X射线光刻机的9倍多。

别看韩琛研发的X射线光刻机效率慢，它比现有的DUV光刻机强悍多了。

一台X光射线光刻机成本只要58万软妹币，除此以外X光射线光刻机功耗比DUV低，它制作一片晶圆功耗只有DUV的58%，最重要的是它不需要制作掩膜。

效率不够完全看用数量来凑，1台一小时可以生产12片，10台一小时就可以生产120片。

一台DUV光刻机售价可是高达几千万软妹币，10台X光射线光刻机只要580万软妹币。

可以说X光射线光刻机除了效率以外其他方面完胜现有DUV光刻机，只是EUV光刻机都没有办法跟X光射线光刻机相比。

X光射线光刻机最牛的地方就是它的升级迭代十分简单，后续只需要升级现有的激光头就可以了，升级一台设备的成本不到10万软妹币。

虽然说X光射线光刻机只需要升级激光头就可以，但是X光射线光刻机激光头制作十分复杂，但是激光头的研发成本可不比DUV光刻机研发成本低。

X光射线光刻机只是量产以后制作成本比较低而已。

5分钟后一片晶圆从光刻机仓内传送出来，不过韩琛等人并未急着去动它，想要知道光刻机是否有问题，还需要更多的样本来检测才行。

转眼一个小时过去。

X光射线光刻机成功将12片晶圆送出光刻机舱体。

“段振元，将这些晶圆送去刻蚀吧，等结果出来以后告诉我。”

韩琛说道。

“好的，韩总。”

段振元回道。